S rýchlym rozvojom elektronického priemyslu, najmä v polovodičovom priemysle, sa požiadavky na kvalitu čistej vody neustále zlepšovali a kvantitatívne ukazovatele obsahu aniónov, katiónov, počtu častíc, organických látok, baktérií atď. Vo vode boli postupne obmedzené. Nasleduje niekoľko procesov výroby vody hlásených doma av zahraničí v posledných rokoch.
1. Systém čistej vody v určitom ultra-veľkom rozsahu integrovaného výrobného obvodu pozostáva z systému predbežného ošetrenia, primárneho systému výroby čistej vody, sekundárneho systému výroby čistej vody a odvodňovacieho regenerácie a iných vetvových systémov.
a. Systém predbežného ošetrenia. Podľa kvality surovej vody sa používa koagulačné tlakové flotačné zariadenie, dvojvrstvový filter a odplyňovanie oxidu uhličitého oxidu. Po koagulácii je v dôsledku ich nízkej hustoty ťažko usadená pozastavená hmota a čiastočne rozpustené organické látky v surovej vode. Tlaková flotačná liečba sa môže účinne odstrániť. Dvojvrstvový filter po umiestnení môže zachytiť odtok jemného koagulácie z flotačného zariadenia, aby sa ďalej vyčistila surová voda. Zložka bikarbonátu je odstránená vežou odplyňujúceho oxidu uhličitého, aby sa zabránilo zrážaniu uhličitanu vápenatého na bočnom membránovom povrchu koncentrovanej vody koncentrovanej RO po umiestnení.
b. Primárny systém čistej vody. Systém sa skladá z trojstupňového stĺpca RO, deoxygenačné zariadenie a iónových výmenných stĺpcov. Membrána RO prijíma nízkotlakovú polyamidovú membránu. RO v prvom štádiu predovšetkým odstraňuje väčšinu aniónov, katiónov a organických látok; RO v druhom stupni odstraňuje hlavne zvyšné anióny, katióny, kremík a organické látky; RO tretieho stupňa odstraňuje hlavne stopové zvyškové katióny a zlepšuje odpor.
Deoxygenačné zariadenie prijíma odplyňovanie dutých vlákien, ktorá môže odstrániť rozpustený kyslík pod požadovanú koncentráciu, a tiež odstraňuje zvyškový oxid uhličitý, čím sa zníži zaťaženie stĺpca po výmene, aby sa znížila náhradná frekvencia iónovej výmennej revizu.
Kolóna výmeny iónov môže odstrániť veľmi malé množstvo iónov, ťažkých kovov, kremíka a rozpusteného oxidu uhličitého, ktorý zostáva vo vode upravenej RO. Výmenný stĺpec nie je regeneratívny a účelom je zabrániť zvyšku CL a OH- ovplyvniť kvalitu ošetrenej vody počas regenerácie. Podľa normálnej miery zotavenia 80%sa výmenná živica nahradí každých šesť mesiacov.
c. Sekundárny systém čistej vody. Systém pozostáva z tepelného výmenníka, ultrafialového oxidátora, leštiča a ultrafiltračného systému. Ultrafialové oxidátory používa nízkotlakovú ultrafialovú lampu s rozlohou 185 Nm na rozloženie veľmi malého množstva komponentov TOC, ktoré zostávajú v primárnej čistej vode vody. Je obzvlášť vhodný na rozklad nízkej relatívnej organickej hmoty molekulárnej hmotnosti s nízkou rýchlosťou odstraňovania v Membráne RO.
Lešther používa rovnomernú guľovú živicu s nízkym displejom na odstránenie organických látok a CO2 produkovaného pred-ultrafialovým oxidátorom na rozklad TOC a zároveň odstraňuje samotné stopové ióny, kremík, ťažké kovy atď. V primárnej čistej vode, takže rezistivita je stabilizovaná na vysokej úrovni. Ultrafiltračný systém konečne odstráni iónové komponenty na konci vodného zariadenia Ultrapure, aby sa splnili požiadavky na proces. Membránové zložky tohto systému používajú ultrafiltračné membrány externého tlaku, ktoré sami nevyrábajú ióny.
d. Systém na obnovenie odvodňovania. Systém pozostáva z aktívneho uhlíkového filtra a aniónového výmenníka. Pretože obnovená voda obsahuje H2O2, SO 42-, f-, cl-, nh 4+ atď., H2O2 sa odstráni aktívnou adsorpciou uhlíka; Takže 42-, f-, cl- sú odstránené aniónovým výmenníkom a NH 4+ sa odstráni post-ro.
2. MEGA-úroveň nového vysokokvalitného výrobného systému vody, odpor systému, rozpustený kyslík a SIO2 a ďalšie ukazovatele v podstate spĺňajú požiadavky, ale počet častíc a počet baktérií a počet baktérií musia byť spracované zodpovedajúcimi opatreniami, aby sa zabezpečilo, že môžu byť zaručené. V procese výroby vody má nasledujúce charakteristiky.
a. Surová voda sa filtruje mikrofloláciou, to znamená, že PAC sa pridá do vodovodného potrubia na flokuláciu a potom sa filtrácia s dvojitou vrstvou vykonáva s kremenným pieskom a antracitom.
b. Filtrácia aktívneho uhlia sa umiestni po silnom katiónovom lôžku a odplynovacej veži. Pretože hodnota pH vstupnej vody je kyslá, môže to zabrániť mikrobiálnej reprodukcii a dosiahnuť účinok odstraňovania organických látok.
c. Zariadenie reverznej osmózy je nastavené po výmene iónov, ktorá môže zabrániť zablokovaniu komponentu reverznej osmózy spôsobenou membránovým znečistením a škálovaním membrány, najmä pri surovej vode s veľkým obsahom SIO2.
d. Používa sa dve odplynenie, druhá je vákuová odplynenie, ktorá môže odstrániť rozpustený kyslík a prchavé TOC vo vode.
e. Používa sa dvojstupňová ultrafialová sterilizácia a druhou fázou je zabrániť tomu, aby sa baktérie formovali na membránovom povrchu zariadenia reverzného osmózy (FRO).
f. Namiesto konvenčnej ultrafiltrácie použite zariadenie reverznej osmózy (FRO LESISHISH). Vo FRO, v dôsledku použitia syntetických kompozitných membrán, je rýchlosť odstraňovania TOC extrémne vysoká.
3. Typický vodný systém s vysokou čistotou produkovaný zariadením 16 metrov in situ, ktorý pozostáva z vysokokvalitného systému na rafináciu vody a systému na doplnenie vody s vysokou čistotou.
Tento systém má v procese výroby vody nasledujúce charakteristiky:
a. Chlór (2 ~ 4 mg/l) sa pridá po aktívnej filtrácii aktívneho uhlia, aby sa minimalizoval bakteriálny rast predtým, ako voda vstúpi do reverznej osmózy.
b. V zariadení na reverznej osmóze sa v prednej fáze používa celulóza acetát a v zadnej fáze sa používa polyamidová membrána. Tieto dve membrány sa používajú v kombinácii na vzájomné doplnenie.
c. Koncentrovaná voda zo zadnej fázy reverzná osmóza sa môže vrátiť do reverznej osmózy predného stupňa na opätovné použitie, čím sa zvýši rýchlosť opätovného použitia vody.
d. Okrem ochrany dusíka sa musí pridať aj vysoko čistota na skladovanie vody s 0. 2 mg/l ozónu vyrobeného z čistého kyslíka, aby sa zabránilo rastu baktérií.
e. Na sterilizáciu a odstránenie zvyškového ozónu vo vode použite ultrafialovú lampu s rozmermi 254 nm. Po zmiešanom lôžku použite 185 Nm ultrafialovú lampu, ktorá je ekvivalentná 6 ~ 8 -násobku normálneho času retencie, aby sa ďalej skrátila TOC.
f. Pridajte ozón ({{0}}. 08 ~ 0,1 mg/l) po zmiešanom lôžku, aby ste ďalej znížili TOC.
g. Na odstránenie rozpusteného kyslíka vo vode použite katalytický deoxygenátorový systém (CORS) alebo dvojstupňové vákuové odplyňovacie zariadenie.
h. Namiesto ultrafiltrácie použite reverznú osmózu, aby ste zaistili, že častice, organické látky a suspendované látky vo vode sa čistia na najnižšiu úroveň. Reverzná osmóza používa kompozitnú membránu s relatívnou molekulárnou hmotnosťou 100 a retenčnou rýchlosťou 90%. Potrubia systémov po spätnom osmóznom zariadení v systéme primárneho spracovania by mali byť vyrobené z polyvinylidénových fluoridových potrubí (PVDF), ale vysokotlakové potrubia reverznej osmózy by mali byť vyrobené z potrubí z nehrdzavejúcej ocele
Zariadenia na úrovni J.4M používajú systémy vylepšenia vody s vysokou čistotou a deoxygenáciu je možné ignorovať. Ultrafiltračné zariadenia s relatívnou molekulárnou hmotnosťou 1000 ~ 100 000 sa môžu použiť na konečnú liečbu bez potreby reverzných osmóznych zariadení.